羅茨泵為什么不能單獨使用呢？單獨開羅茨泵電源會跳閘，如JZJ羅茨泵機組，羅茨泵做主泵，2x旋片泵作為前級泵，串聯使用，開機順序是先開旋片式真空泵，當旋片真空泵真空度到達極限時再開啟羅茨泵電源，這樣設備才能正常運轉，如果前級泵沒有提供足夠的負壓就開啟羅茨泵會造成羅茨泵超電流跳閘。

常見羅茨泵機組結構如圖所示：

開機順序為：開冷卻水--開前級泵--開低真空閥--開高真空閥--開羅茨泵

停機順序為：關高真空閥--關羅茨泵--關低真空閥--關前級泵--關冷卻水





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