來源：互聯網   發布日期：2014/9/3

各種真空泵的極限壓強和啟動壓強范圍表

真空泵種類	工作壓強范圍（Pa）	起動壓強（Pa）
活塞式真空泵	1×105～1.3×102	1×105
旋片式真空泵	1×105—6.7×10-1	1×105
水環式真空泵	1×105—2.7×103	1×105
渦輪分子泵	1.3—1.3×10-5	1.3
羅茨真空泵	1.3×103—1.3	1.3×103
水蒸氣噴射泵	1×105—1.3×10-1	1×105
油擴散泵	1.3×10-2—1.3×10-7	1.3×10
油蒸氣噴射泵	1.3×10—1.3×10-2	<1×105
分子篩吸附泵	1×105—1.3×10-1	1×105
濺射離子泵	1.3×10-3—1.3×10-9	6.7×10-1
鈦升華泵	1.3×10-2—1.3×10-9	1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵	1.3×10—1.3×10-11	1.3×10
低溫泵	1.3—1.3×10-11	1.3—1.3×10

從圖表中我們可以看出，有的泵必須要前級泵才能啟動，像羅茨真空泵產品。而且有的真空泵啟動要求非常高，像實驗室用的比較多的分子泵產品。



























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